黒大豆に虫のミイラ？

黒大豆収穫していて気づいたのですが、蛾の幼虫らしきものが、緑色のカビの覆われて死んでいます。大きな幼虫もいるし、小さな幼虫もいます。そのままの姿で固まっている幼虫もいます。
いったい何なのでしょうか？
この虫は害虫なのかどうかもわかりませんが、異様です・・・。

サナギも緑のカビに覆われたものがありました。